反渗透纯水设备的水中的导电介质几乎完全去除，同时不离解的气体、胶体以及有机物（包括细菌）也去除至很低程度的水。组成部分是反渗透膜元件、压力容器、高压泵、配以合理而又高效的前处理设备及后处理精脱盐设备。
反渗透纯水设备的产水量：0.5m3/H-100m3/H、回收率：75%；操作压力：0.6Pa-1.5Mpa。产水电导率一般为0.1~0.055uS/cm，出水电阻率：0.5-15MΩ.CM；含盐量<0.1㎎/L.理想纯水(理论上)电导率为0.055 uS/cm。
反渗透纯水设备的处理工艺是：源水→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→一级反渗透膜→二级反渗透膜→TOC脱出器→EDI系统。工艺特色是
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低压开关保护高压泵不会因供水停止而损坏；
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高效率、低噪音的高压泵，降低运行噪音，减少耗电。脱盐率高，运行压力低的卷式复合膜提高了产水水质及降低运行成本，且使用寿命长；
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产水、浓水各设有流量计以监视并调节运行出水量及系统回收率。产水电导率表连续监视产水水质。
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污染物去除率脱盐率：99.8% 有机物去除率：>150MW 细菌隔除率：>99% 热原去除率：>99% 颗粒去除率：>99% 进水要求：污染指数(SDI)：<5 余氯：<0.1mg/L PH：5-8 水温：4?-40℃。
反渗透纯水设备的应用：1、半导体材料、超导器件、印刷电路板和集成电路成品、清洗使用用纯水；2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水；3、实验室和中试车间用超纯水；4、汽车配件、电镀表面抛光冲洗使用纯水；5、光学微电子产品冲洗使用纯水；6、超纯材料和超纯化学试剂生产使用纯水；7、实验室和中试车间生产及冲洗使用纯水；8、精细化学品生产使用纯水；9、食品饮料、食品添加剂生产使用纯水；10、制药行业使用纯水；11、其他新兴产品需要超高纯水清洗用的纯水等。